磁控溅射基片台加热，破真空之后温度升高是什么原因

磁控溅射基片台加热，破真空之后温度升高是什么原因

不同的设备的加热电流相差很大，没有固定的指标。

磁控溅射镀膜机的基片加热是在开始镀膜时给基片一定的温度，镀膜开始后，基片的温度会不断上升，需要降低加热的电流，最后可能不需要启动加热了。

可以再基片附近安放一个热偶，标定一下，在不同的时间，基片的相对温度，同时调整加热的电流，使基片基本保持在一个温度范围内，并做好记录，这个记录就是镀膜的加热工艺。

双列圆锥滚子使用过程中发热---紧急求助

转速过高，轴承发热大， 空载试机运行轴承可能因打滑而造成轴承的温度过高。 新装轴承有一个磨合运行过程，一般两小时后趋于稳定较磨合时温度会有下降。 润滑脂的参数选择是否合理，过低的粘度或者过高的温度，都可能造成轴承温升过高？另外就是润滑脂填充量是多少？过多使轴承不能及时将轴承的热量发散出去。一般情况建议填充空间的30-50%。 检查轴承是否损坏，如：滚道、滚动体是光滑，滚动体端面与内圈挡边是否有咬合现象？